無油空壓機對半導體產業的重要性

半導體產業對壓縮空氣的要求極高，因為壓縮空氣被廣泛用於光刻、蝕刻、清洗、乾燥、氣動控制、真空搬運等製程。以下幾點凸顯了無油空壓機的重要性：

• 避免油污染： 半導體製程需要「無塵、無油、無水」的超高潔淨度環境。若傳統油潤滑空壓機中產生油霧或碳氫化合物顆粒，即使極少量，也可能污染晶圓，造成蝕刻缺陷、導電異常或降低良率。因此，國際半導體標準（如 ISO 8573-1 Class 0）通常要求使用無油壓縮空氣。
• 確保產品良率： 晶圓製造需長時間且多道製程，每一片晶圓的價值極高。無油空壓機提供的純淨壓縮空氣，能降低製程中異物風險，避免因污染導致巨額損失。
• 提升設備壽命與穩定性： 油霧污染會累積在閥體、管路與真空系統，導致控制閥故障或管線堵塞。無油壓縮空氣可避免這些問題，維護成本與停機風險相對降低。
• 符合環保與潔淨室規範： 半導體廠的潔淨室等級高（ISO Class 1~5），必須避免任何碳氫化合物或顆粒。無油空壓機能直接符合法規、環保與安全標準，避免額外過濾與耗材成本。
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水潤滑空壓機的優點

水潤滑空壓機（Water-Injected Screw Compressor）是無油壓縮機的一種，使用水取代傳統潤滑油，具備以下優點：

• 天然無油、環保安全： 使用水作為潤滑、冷卻與密封介質，完全無油污染，適用於半導體、食品、醫藥等高潔淨產業。
• 高效散熱與能效優勢： 水的比熱高、導熱效率佳，壓縮腔能快速降溫，降低壓縮過程的溫升，減少能量損耗，提高效率。
• 氣體出口溫度低： 出口溫度接近環境溫度（通常 40°C 以下），降低後端乾燥機與冷卻系統的負擔，節省能源。
• 空氣品質更高： 水能同時吸收壓縮過程中的微粒與熱量，讓壓縮空氣更潔淨，搭配適當處理後可輕鬆達到 Class 0 無油等級。
• 維護簡單、成本低： 無需更換潤滑油與油濾器，只需定期更換水與水濾芯即可，保養週期長、耗材成本低。
• 低噪音與低振動： 水的阻尼作用能降低噪音與振動，運行更安靜，對半導體廠的無塵室環境更友好。
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✅ 總結

在半導體產業中，無油空壓機是保障良率與生產穩定的關鍵設備。其中，水潤滑空壓機以水取代油，具備環保、低能耗、高潔淨度與低維護成本等優勢，是最符合半導體產業高標準需求的解決方案之一。